kalaga 发表于 2010-5-20 09:58:49

流化床法生产SI有前途么?

现在都在用CVD法,其实国内都是照抄国外的技术
但是现在存在很多问题,不知道FBR法有没有啥搞头啊?
在西门子法里面也可以使用FBR的啊,为啥没人用呢

zhangweicheng 发表于 2010-5-20 12:22:59

只要技术成熟当然会有人用

kalaga 发表于 2010-5-20 14:14:21

技术成熟与否关键点在哪呢?
现在FBR不被人采用是哪个缺陷制约了其发展呢?

Minos 发表于 2010-5-20 19:26:27

纯度难往上提，内壁沉积严重

kalaga 发表于 2010-5-21 09:26:45

Minos 你好牛啊~~~:loveliness:
我很葱白你

kalaga 发表于 2010-5-21 09:26:55

Minos 你好牛啊~~~:loveliness:
我很葱白你
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