huweiminwo 发表于 2010-5-18 10:55:10

三氯氢硅汽化问题

有些公司在三氯氢硅的汽化器的氮气管道上安装氢气管道，这条管道有什么作用啊？希望大家指教啊，个人认为有两个作用
1，保压作用，可以维持汽化器力的压力
2，有鼓泡汽化作用，根据有汽化源可以增大汽化率的原理，如鼓泡可以加快汽化率，但这我想对TCS和H2的混合量计算会有影响。（不清楚氢气在三氯氢硅和四氯化硅的温度压力溶解度）
大家给点看法啊

wyc6880 发表于 2010-5-18 10:59:18

你看到的气化三氯氢硅是进那的？还原炉？用氮气气化？

huweiminwo 发表于 2010-5-18 11:47:42

是进还原炉的，汽化是用蒸汽汽化的，氮气管道应该是用来开车前吹扫保压用的 2# wyc6880

naihuhu 发表于 2010-5-18 15:55:41

是不还有开停车置换作用

硅去来兮 发表于 2010-5-18 16:10:51

是置换用的，不然氮保以后氮气进入CDI怎么办！

小明爱化工 发表于 2010-5-26 13:15:20

哈哈哈 我不知道 摊哥
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