yanpeng44581838 发表于 2010-5-26 14:47:11

有关多晶硅生产中使用湿氮气

各位前辈：可以给我讲解一下有多晶硅生产中使用湿氮气的理论哦！如果有相关的资料可以分享请给我发一份哦我的邮箱是：yanpeng445818381@163.com
谢谢哦！

风雨无晴 发表于 2010-5-26 17:12:11

你确定是湿氮气吗？还是湿氢气？、、、用来除去高沸物的，微量水和聚氯硅烷、金属氯盐反应，形成塔斧残液除去

告别戈多 发表于 2010-5-28 04:36:18

湿氮气是用来除硼、磷和一些金属离子的，氮气起的作用是稀释水蒸汽，但其配比是个机密，因为水含量多了会造成氯硅烷的浪费，少了则没有效果。原理就是利用了水解产生的多硅酸的吸附性…

huweiminwo 发表于 2010-5-28 10:34:50

在还原这块真没见过
大家多说说啊
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