jxjinby 发表于 2010-5-22 10:38:19

硅烷法的工艺有几种

请教硅烷法的工艺有几种？现在国内有？

dingdaliang 发表于 2010-5-30 11:10:24

三氯氢硅在反应精馏塔中歧化产生硅烷，能连续化，能耗低，但是国内没有做
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