87086896 发表于 2010-6-2 17:00:13

如何做混合气进料的配比分析

我们这边计算混合气进料配比的方法有3个。
1、通过氢气和三氯氢硅的平均流量计算出摩尔比。
2、通过气体的饱和蒸汽压进行计算。
3、化验室采样分析。
前二者计算的结果误差大,但是化验室分析的结果往往是理论计算值的4-5倍,
希望这方面的专家多多指导。
再问一个问题,国内大部分厂家的配比是如何控制计算的,一般控制在多少?
望大家大胆讨论。

3221881 发表于 2010-6-2 23:07:07

通过氢气和三氯氢硅的平均流量计算出摩尔比 这个简单方便易于操作些些

wtuvfhpl 发表于 2010-6-3 19:36:25

配比在各生长阶段是不同吧。
可以通过阀位来对照对应的流量,算入当时的配比。

zhangweicheng 发表于 2010-6-3 20:28:09

这的确是个难题,各个单位有各自的经验方法。
根据氢气和三氯氢硅的平均流量计算出摩尔比比较准确,但很麻烦

李健raul 发表于 2010-6-3 21:58:57

通过氢气和三氯氢硅的平均流量计算出摩尔比 这个简单方便易于操作些些
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