yxxyyx 发表于 2010-6-2 09:03:25

还原过程中通气和排气

还原过程中通入混合气是长期供气吗,又是如何排气的？

jesscy 发表于 2010-6-2 09:13:43

没明白你的意思-----
混合气是原料气体么？长期供气？那要看你的生产周期。

yxxyyx 发表于 2010-6-2 09:22:49

我的意思是：这边通气开着，那边排气也开着，不是没反应好就把气排掉了。刚入行，请指教！

jesscy 发表于 2010-6-2 11:54:18

肯定是进气口、出气口同时开着的，肯定存在反应不完全就排除的可能，影响TCS转化率。炉子的设计才很关键，你可以看看炉子的图纸，有内部详细结构图 和进/出口位置，或许对你有帮助，可以的话看看炉子的模拟动画。

mark810 发表于 2010-6-2 22:27:47

当然是通气排气都开着，多晶硅生成的反应率很低，需要排出产物，提高反应物的比例，有利于反应进行，
一般进气是通过分部在硅芯棒之间的喷嘴，排气时底盘中间的出气口

3221881 发表于 2010-6-2 23:01:05

那是当然了，还必须得边吃边拉。然后再把拉出来的搞整干净又吃进去。
页: [1]
查看完整版本: 还原过程中通气和排气