ppqiner 发表于 2010-6-1 10:53:53

再次求助还原炉电流电压问题

还原炉操作过程中电流电压随直径、时间等具体的函数关系??各位大虾们弄个经验值出来啊?

kalaga 发表于 2010-6-2 09:00:21

这个真没有........

Misilang 发表于 2010-6-2 10:40:22

还原炉电流电压与还原炉生长中气量、配比、生长直径、冷却条件都密切相关,每个厂家都不尽相同。

Minos 发表于 2010-6-2 13:13:54

这个可以有...可是这属于绝对机密吧

deisler 发表于 2010-6-9 15:41:50

有本书上说
工作压力随直径平方根成反比
工作电流随硅棒直径的三分之二次方成正比

ppqiner 发表于 2010-6-9 15:55:11

回复 5# deisler
    a? 哪本书?书名可否发一下呢?谢谢
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