kuangpu 发表于 2010-6-12 16:55:35

多晶硅生产过程中磷杂质的分析方法

各位高人，请问在多晶硅生产过程中原料中的磷分析是采用什么手段进行准确分析的呢。

wy-6100 发表于 2010-6-12 18:21:07

多是用 气相摄谱仪

zhangweicheng 发表于 2010-6-12 18:57:40

北京一位叫赵振庚的老专家自己制造的一套仪器分析挺不错的

piaowu0335 发表于 2010-6-12 19:51:32

对应的等级有不同的分析方法。有色谱法和光谱法还有质谱法等等

kuku87 发表于 2010-6-13 10:29:11

回复 1# kuangpu
可以用低温傅里叶！

雨婷 发表于 2010-6-13 14:25:32

我觉得低温傅里叶是用来检测碳氧含量的，ICP-MS,ICP-OES，GC可以用来检测磷含量。

雨婷 发表于 2010-6-13 14:25:43

我觉得低温傅里叶是用来检测碳氧含量的，ICP-MS,ICP-OES，GC可以用来检测磷含量。

雨婷 发表于 2010-6-13 14:26:34

不知道上面回答对不对，不足之处还希望大家多多指教。
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