李健raul 发表于 2010-5-30 16:59:46

精馏中二氯二氢硅问题

精馏中塔顶采出中二氯二氢硅含量很高,特别是还原尾气精馏塔通常有10%左右,如果通过尾气排大量的三氯氢硅会因此排掉,请教高手有没有更好的办法啊?

superl 发表于 2010-5-30 17:49:46

回复 1# 李健raul
    其实控制适度的二氯二氢硅是有利于还原反应的

大海深处 发表于 2010-5-30 19:37:33

同意楼上的意见,如果量还是过大可以考虑加换热器冷却,换热介质就用R22(-35度)就可以了。

maxwell_112 发表于 2010-5-31 17:01:20

两种方法:1,增加一级排低精馏塔
2,收集尾气(二级三氯氢硅)再提纯

robert707 发表于 2010-6-1 11:12:50

三氯氢硅中掺入一定量的二氯二氢硅是有利于还原反应的,但是究竟掺入多少比例还是由你们还原运行的条件决定的,还是需要还原多运行一段时间才能感觉的出来。最早摩托罗拉就采用二氯二氢硅直接还原生产多晶硅,不过规模要小得多,似乎是在某种芯片上镀上一层多晶硅。所以如果二氯二氢硅含量不是特别高,应该没有什么问题。

winer.LIU 发表于 2010-6-22 16:25:35

一般是收集这部分尾气再一次精馏提纯!
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