关于氮化问题
在还原里经常听说氧化夹层和温度夹层，对氮化还不太理解，想请教大家一下氮化夹层的起因和怎样避免啊引用情和赢的答案
氮化有几个方面，包括过程中氮化，和停炉后氮化。
1 过程中氮化主要是还原反应中的氢气纯度不够，夹杂着氮气浓度较高，使一部分氮气发生反应。
2 停炉氮化主要是在停炉后，炉内的温度太高，没有进行氢气长时间的降温，而直接进行氮气置换降温，导致硅棒表面被氮化。
其实氧化和氮化产生的机理是类似的。
氮气是很稳定的，一般是不和硅反应的，但是在高温下是要反应的，有在低温（650度）下的氮化，也有高温下（900度以上）的氮化，氮化后的产物是很硬的，只有HF才能和它反应，所以我们要尽量减少氮气置换的时间，升温进料。 650度以下，氮气能跟硅反应？
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