hutaokiss
发表于 2010-7-7 09:17:25
N2进入还原系统在1400度左右与硅反应 生成氮化物 让硅棒形成氮化夹层 影响单晶的拉制 也不利于生产。
maxwell_112
发表于 2010-7-8 22:04:14
不能吧，氮气和氢气等不凝气只能通过吸附柱出去，但吸附柱对大量氮气的吸附没有作用的，只能和氢气一起放空了
liwenchao81
发表于 2010-7-9 09:23:29
H2放空还是CDI的技术吗？
告别戈多
发表于 2010-7-10 14:28:36
这里的问题在于，CDI无法分离氮气，所以与氮气混合在一起的氢气就无法回收，除了放空别无他法，值得一提的是，CDI所谓的尾气回收，基本上就是针对还原尾气来说的。