wei8jun 发表于 2009-10-26 21:41:08

多晶硅酸洗

在用硝酸及氢氟酸腐蚀硅棒的时候，酸雾用硫代硫酸钠溶液及氢氧化钠吸收，硫代硫酸钠具体与什么物质反应，起什么作用？
   请各位高手指点，谢谢！

toyoulv 发表于 2009-10-29 10:24:59

我们是用5：1的硝酸和氢氟酸的混合酸清洗的，不过当氢氟酸注多的时候，反应放热较多，如果洗完不及时放水里，硅块表面就会有黄色的酸斑。听说用醋酸也可以，还有的场子用碱洗，不知道到底怎么操作，效果怎么样！？

robin-Y 发表于 2009-10-30 14:00:51

酸洗主要是除金属离子吧。硅的化学性质稳定，几乎不与所有的酸反应，包括HF酸，但是能溶于HF和硝酸的混合酸。醋酸不和硅反应，但不排除与其他物质混合在一起与硅反应。用醋酸可以防止空气氧化吗？没听说过，有待学习。
加入碱肯定会反应，但反应的是硅，同时里面的金属离子以难容物的形式存在，不能达到除金属离子的目的。

robin-Y 发表于 2009-10-30 15:12:35

硫代硫酸钠可以作为含氮尾气的吸收剂，作用也应该是固氮咯，但是在空气或酸性条件下不是很稳定，在碱性条件下能够较稳定的储存。

xiaoyu188 发表于 2010-7-1 12:20:33

酸洗的废酸可以回用
www.apex-tec.com

guoquxianzai 发表于 2010-7-1 14:15:31

受教了，我一直不明白硅棒酸洗的原因，现在看了是茅塞顿开啊，谢谢各位啊

tqkx_87 发表于 2010-7-12 12:38:20

支持！
估计马上我也去这个车间干了把！
先了解一下！

xiahj 发表于 2010-7-14 15:41:33

Si+4HNO3=3SiO2+2H2O+4NO
SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O
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