wanhongfei 发表于 2010-7-21 12:11:31

多晶硅棒上生长毛刺现象的讨论

在多晶硅生长过程中，发现多晶硅棒上有毛刺的现象，这种毛刺从开始到停炉一直有，严重时会在硅棒表面形成明显的玉米粒。各位大虾，帮忙分析一下是什么原因造成的！

kuristying-1 发表于 2010-7-22 11:39:51

一台炉子还是全部
原因可能精进料馏产品被污染，检查进炉前的换热器、挥发器

wanhongfei 发表于 2010-7-22 12:02:32

大部分炉子都有这种现象，但有的表面就很光滑
精馏料进还原炉有很多层过滤，没有发现有被污染的现象

9769782 发表于 2010-7-22 13:37:02

温度控制的问题啊

wanhongfei 发表于 2010-7-23 10:54:24

跟温度有关系吗，我们试验过了，不管温度高低都会产生这种现象
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