化工人士 发表于 2010-6-25 21:53:10

硅芯清洗问题？

硅芯清洗为什么要用氢氟酸清洗？目的是什么？这个过程对硅芯会腐蚀多少呀？
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新手不明白~~

fangqiong 发表于 2010-6-26 08:05:16

回复 1# 化工人士
    硅芯清洗用氢氟酸清洗保证硅芯的纯度，目的是用氢氟酸将硅芯表面生成的氧化层清除，也就是将二氧化硅溶解生成氟化硅除去。这个过程不会对硅芯会腐蚀太多，因为二氧化硅是难溶物质，它即不溶于水，也不溶于硝酸，因此 用氢氟酸可使氧化膜溶解掉，再使用硝酸继续腐蚀硅芯，最后用高纯水进行严格清洗并烘干备用。

言月 发表于 2010-6-26 16:26:35

新手等待中……
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化工人士 发表于 2010-6-26 23:52:07

哦，呵呵明白了一半，谢谢，但是
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用硝酸腐蚀的目的又是除去什么呢？

XNHHSDGM 发表于 2010-6-27 10:25:49

主要是用不同比例的氢氟酸和硝酸的混合溶液来清洗效果会更好。

雨婷 发表于 2010-6-28 10:40:43

回复 4# 化工人士
    用硝酸的目的是将多晶硅表面氧化成二氧化硅，氟化氢很容易就可以将二氧化硅除去。多余的氟化氢于硝酸作用，又由于单纯是氟化氢来清洗反应速度很慢，这样一来加入硝酸后可以加快清洗速度。

wei8jun 发表于 2010-7-29 11:26:50

我看了6楼的解释，就是用硝酸再把硅棒表面氧化成二氧化硅了，防止硅棒在空气中氧化带来杂质，不知道是否可以这样了解！
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