公司生产多晶硅还原炉
浙江贝斯特锅炉压力容器有限公司目前研发生产的多晶硅还原炉,请各位高手鉴赏,并提出宝贵意见。联系人:徐京达 13754373373
地址:浙江省上虞市
有问题
大问题
不知道这是仿哪里的炉子 有点像MSA的炉子,不知道你底盘是怎么设计的?炉子的直径和高度是多少? 看样子有点问题,不知道底盘到底什么样子的。 没有看见底板,不过,请问下这是几对的还原炉? 公司生产多晶硅还原炉,为12 对棒,高度3500mm,直径1550mm,希望各位高手多提建议。 仿的MSA的炉子不过不清楚进料和尾气的管线怎么分配的,MSA炉子的精华在李比克管那一段 公司生产多晶硅还原炉,为12 对棒,高度3500mm,直径1550mm,希望各位高手多提建议。 多晶硅还原炉简介:
公司开发的多晶硅还原炉是用于生产多晶硅主流技术路线“改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法”中进行CVD反应生产高纯多晶硅的主体设备。
我们目前开发的多晶硅还原炉是钟罩式12对棒还原炉,主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成。
炉体主体采用不锈钢材质 SUS316L且进行抛光处理(增强炉内热量漫反射,减少热辐射,节省能源),以减少设备材质对产品的污染。
炉体外夹套采用不锈钢材质SUS304,用来通冷却水或导热油,带走反应放出的热量。
底盘采用不锈钢材质SUS316L,底盘也有夹层,用来通入冷却水,以保护密封垫圈。电极由导电性能较好的优质紫铜材料制成,经过特殊设计、工艺处理,内部通过冷却水进行冷却,电极与载体用石墨夹头进行连接。
混和气进气管分为9个喷口(其中8个喷口均匀的设置在底盘上),在还原炉底盘上分二个圆周均匀布置12对电极,最外一周布置8对电极,最内一周布置4对电极,该种设计使还原炉内部结构布局合理,单台炉每批次产量较现有还原炉有大幅度的提升,多晶硅的综合生产成本和能耗也相应降低。 呵呵 。。。。底盘是什么样子的?
你这个炉子太寻常了
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