多晶硅棒内部硅芯与沉积硅个隔层问题

zjc156 发表于 2010-6-12 13:31:14

多晶硅棒用硅芯沉积后，发现硅芯与沉积硅不是一个整体，看是怎么回事？

kuangpu 发表于 2010-6-12 15:34:37

这个问题很简单的，有几种可能，一，设备较脏造成对硅芯的污染。
二，硅芯处理上不到位，
三、进料控制经验不足。手次进料量过大造成

mengpiaoyangmsn 发表于 2010-6-12 15:40:54

籽晶棒表面的二氧化硅未处理干净

wanhongfei 发表于 2010-6-12 17:30:29

应该*芯的问题，硅芯表面的酸没有洗干净

luobangyanyan 发表于 2010-6-12 19:25:07

可能*芯清洗环节的问题，也可能*芯击穿过程中的污染

piaowu0335 发表于 2010-6-12 19:30:37

好几家都有这样的问题啊，我还以为是一家呢，咱这主要和加料相关

rock2008 发表于 2010-7-27 21:32:18

硅芯在击穿的过程中被氧化了

tao8686886008 发表于 2010-7-29 14:24:19

这种问题就是我们说的脱芯，这种问题要从几个方面去分析：
1、硅芯处理环节是否有污染。
2、硅芯安装过程中是否有污染。
3、钟罩安装上以后是否及时保持在氮气环境下。
4、置换是否彻底。
5、硅芯击穿是在什么环境下击穿，分析硅芯击穿使用气体的纯度。

ffworld 发表于 2010-7-29 14:44:49

1.是前期进料的问题
2.击穿时发生硅芯氧化

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