hwf850305 发表于 2010-7-30 15:03:49

目前有没有四氯化硅氢化还原的成熟工艺?

请教各位大虾,目前有没有四氯化硅氢化还原成三氯氢硅的成熟工艺啊?

Minos 发表于 2010-7-30 17:01:30

热氢化冷氢化都成熟,只是看操作经验够不够...

kuristying-1 发表于 2010-7-31 09:33:23

有,冷热氢化都有

hwf850305 发表于 2010-7-31 10:58:06

一套氢化反应有哪些装置呢?
成本是多少?
转化率是多少?
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