过眼烟云 发表于 2010-6-11 12:03:26

还原炉内的副反应

各位大虾们，还原炉中TCS热分解反应具体有哪些？他们各自的反应温度及其一些反应条件的标注，能详细告知吗？

winer.LIU 发表于 2010-7-31 11:46:56

在900-1000°时，热分解反应是占主导地位的
2sihcl3---si+3sicl4+2h2
2sihcl3---si+sicl4+2hcl

xtas 发表于 2010-7-31 15:16:56

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