关于沸腾炉升温慢
一般来说,沸腾炉假如硅粉后,一般情况下4个小时左右就能开正常,但是有时候可能要更多时间,可能是一个班12小时,或者更多,对于这样慢的速度,如果见的多了,或许就习以为常,或者温度升的快,很快开正常了,反而感觉是个意外了,大家觉着合成炉升温慢,一般与哪些因素有关系呢?欢迎大家提出个人的意见,大家一起学习学习,谢谢。先谈谈个人愚见吧,我觉着,开炉速度和硅粉干燥程度,系统压力,HCL通量等都一定关系,如果硅粉干燥不够,会影响硅粉的沸腾,或者容易粘结等,对于系统压力和HCL通量,我先保留意见,请大家谈谈!
用高温氯化氢通入炉内,连同沸腾炉电加热一起加热 温度上升快
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