Dreamer2012 发表于 2010-8-4 15:52:07

三氯氢硅合成相关

采用什么方法控制三氯氢硅合成炉才能得到高品质的TCS？

风之铃音 发表于 2010-8-4 16:26:43

这个怎么控制？不同的公司合成TCS的炉子、技术方法都不太一样啊

Dreamer2012 发表于 2010-8-4 16:54:25

回复 3# 风之铃音
    比较难掌握的一门技术。探索之中……

lixiaolong602 发表于 2010-8-4 19:10:46

主要是控制温度，你们在出口弄个在线分析仪，看在什么温度下TCS的组分占得最高

守望者86520 发表于 2010-8-9 10:56:19

把合成炉的温度控制好就可以了，一般转化率都能达到85%以上
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