吕凯 发表于 2010-8-16 11:02:35

还原炉内电极和底盘如何密封的，用的是什么材料啊

求助热线：还原炉内电极和底盘如何密封的，用的是什么特别材料啊！电极部分是陶瓷材质又怎么密封，是不是直接用黄铜与炉底盘密封，别外还原炉底盘与钟罩又是用什么材料密封的，请多晶硅前辈能给予帮助

wulffor 发表于 2010-8-16 12:12:38

四氟
氟橡胶
你怎么问这个问题呀

吕凯 发表于 2010-8-19 06:44:57

真的假的，那能耐高温吗，据我与多晶硅行业内人了解，是一种特殊材料所以才问的

mark810 发表于 2010-8-19 10:35:30

是改性的四氟垫，还原炉高温时硅棒表面温度高，炉壁和电极有冷却水温度不是很高，也就150多度

zhengrd 发表于 2010-8-19 10:49:25

四氟垫起码可耐260度

yxxyyx 发表于 2010-8-19 17:13:31

改性聚四氟乙烯+橡胶

jijixiangshang 发表于 2010-8-20 17:26:57

电极与底盘密封采用的是绝缘四氟套，必须要耐高温的四氟套。
炉筒与底盘用的是改性四氟垫，改性四氟垫的质量越好，越耐用。用的次数也越多。

ruiguobao 发表于 2010-8-20 20:24:45

问问那个已经按2MPa运行的兄弟，看看他们怎么弄的，那么牛气！

wtuvfhpl 发表于 2010-8-20 20:33:56

真的假的，那能耐高温吗，据我与多晶硅行业内人了解，是一种特殊材料所以才问的
吕凯 发表于 2010-8-19 06:44

                              
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    哪请问你说的是哪种特殊材料，可否分享一下。

吕凯 发表于 2010-8-19 06:44:00

上面的兄弟，咱也不知道才要问的吗
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