ruiguobao 发表于 2010-8-23 11:25:26

混合气配比压力与温度如何计算

三氯氢硅与氢气的比例是怎么调整的？比如0.6MPa,配比6:1，如何计算挥发器的温度？
谢谢大侠了啊！

mark810 发表于 2010-8-23 14:06:36

0.6MPA是总压力，其中三氯氢硅的分压是0.6/7得到，通过三氯氢硅的饱和蒸汽压就可以得到挥发温度
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