还原炉中的化学反应主要是分解反应还是还原反应

sansir 发表于 2010-8-30 22:15:42

还原炉内的反应多达15种,但一般资料上提到的主反应为SiHC13 + H2----Si +3HCl一Q ,但实际上分解反应4SiHC13 ----Si +3SiC14+2H2也十分明显,具体调节中如何控制分解反应的进行?

zhangweicheng 发表于 2010-8-31 15:01:02

主要是反应温度和混合料比、进气流量

zhengrd 发表于 2010-8-31 15:07:04

其实应该跟反应条件有关系吧

9769782 发表于 2010-8-31 15:41:15

主要应该看氢气和TCS的配比，温度一般都是差不多的

XNHHSDGM 发表于 2010-8-31 22:56:48

化学反应本身就是一个非常复杂的过程，只要条件控制的好，产出率高能满足我们的要求就可以了。

dengzbde 发表于 2010-9-1 03:36:35

不是常说生产一吨多晶硅会产生十多吨的四氯化硅么，所以还原应该是以热分解为主，另外根据第一个反应方程来看得到的是硅和氯化氢，而在还原过程中氢气是一个增加的过程，所以应该是以热分解为主

caixiaoming 发表于 2010-9-2 14:33:48

分解反应和还原反应都在进行，只是分解反应要快，还原反应要慢一些。

zybrong 发表于 2010-9-2 15:55:52

这个需长时间的统计，不同的硅氢比，不同进料组成，不同的棒径，不同的电流，不同的流量，变量很多。

wtuvfhpl 发表于 2010-9-3 20:46:08

炉内温度太高，只能从尾气里面分析。

wuhao3690 发表于 2010-9-4 08:17:23

应该控制好反应温度。

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