走走看看~ 发表于 2010-9-16 22:17:52

多晶硅还原炉气场问题

最近研究多晶硅倒棒问题,涉及还原炉内气场分布问题,好像要用到流体运动学,请各位专家学者帮忙指导一下,万分感谢!
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