zhangweicheng 发表于 2010-8-31 16:15:51

硅烷热分解气相沉积多晶硅

硅烷热分解气相沉积多晶硅

cc000706 发表于 2010-9-1 14:08:33

好资料。
谢谢LZ。
请问:你是搞硅烷法的吗?

zhengrd 发表于 2010-9-1 14:09:49

只是发资料,何以认为就是搞硅烷法的

hbzhy1 发表于 2010-9-18 10:11:42

zhangweicheng很活跃,能不能交个朋友?

hfjiang 发表于 2010-9-18 12:21:25

1980年的资料就不要发了吧,还是学院的院报。。。
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