STC氢化工序
经氯硅烷分离工序提纯精馏的四氯化硅，送入本工序的STC汽化器气化，从制氢与净化工序来的氢气和从还原尾气干法分离（CDI）来的氢气在氢气缓冲罐混合后，也充入汽化器内与四氯化硅形成一定比例的混合气体，送入氢化炉内，在氢化炉内通电的灼热石墨电极表面，发生四氯化硅的氢化反应，生成三氯氢硅，同时生成氯化氢，出氢化炉的尾气含有三氯氢硅、氯化氢，以及未反应的四氯化硅和氢气，经氢化尾气冷却器冷却后送往CDI.氢化炉的STC和氢气采用稳定流量控制进料量，气化量通过汽化器的液位来控制蒸发量，当液位高时，液相与U型换热管的接触面积增大，气化速度随着增大，当液位偏低时，液相与U型管接触面积小，传热面积也小，气化速度随着减小，因此控制一个稳定的液位，保持恒定的气化速度至关重要。
工艺描述基本正确，真正实现也不是一件容易的事。目前国内多晶硅生产厂家只有青海黄河水电新能源在设计时就考虑到了这一工序，并且效果很好，其它厂家或没有设计上，或效果不好。
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