jokee001 发表于 2009-8-4 10:13:02

多晶硅生长后期为什么会裂棒？

多晶硅生产过程中,在后期Φ90以后裂棒的原因？

Minos 发表于 2009-8-4 11:43:52

在后期，由于棒粗了，从棒芯到棒表面的径向温度梯度就大了，热应力随之增加，在内部分子与分子之间的作用力变大，受力不平衡，就出现了裂缝
这个跟表面的生长情况也有关系，长得均匀的，内部作用力也更均匀，出现裂缝的概率小，长得不均匀的，更容易裂

chwell2004 发表于 2009-8-4 11:53:49

受到热应力作用，各处受力不均导致裂棒，有时候开炉时由于降温差异，也会出现这种情况。

lyasdf 发表于 2009-8-5 19:50:57

横梁那的热应力不均匀，跟温度控制有关

南希 发表于 2009-8-9 02:31:43

关键是温度的把握不好，温度梯度太大

qiujingyuan 发表于 2010-9-24 15:43:46

我认为主要是温度控制的不好造成的。
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