abcsxg 发表于 2010-9-27 15:57:27

多晶硅生产中碳含量偏高,是什么原因

多晶硅生产中碳含量偏高,是什么原因?      各位大虾来讨论一下

abcsxg 发表于 2010-9-27 15:59:03

我个人认为：氢化炉在1300度以上时，它的石墨罩会和氢气生成CH4，含量高的时候能达到几个PPM

abcsxg 发表于 2010-9-27 16:00:03

碳浓度超标，会使硅器件击穿电压降低，漏电流增加

laidekeai 发表于 2010-9-27 16:09:47

精馏产品中有含碳物质，H2中CH4、CO、CO2含量过高。

情合赢 发表于 2010-9-28 10:55:25

回收系统中的活性炭会不会跟氢气一起进入生产环节呢

zhangxl007 发表于 2010-9-29 10:55:31

涉及的面太广了，原料三氯氢硅中含碳，回收活性炭吸附时有可能引入碳，设备的材质如碳钢的

初夏时分 发表于 2010-9-30 12:25:32

也要考虑一下氢压机和原料提纯部分带来的碳
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