xilihuagong 发表于 2010-10-19 10:07:41

多晶硅方面的所有化学方程式

想系统的了解一下多晶硅方面各种物质之间的转化关系，有哪位牛人来点这方面的化学方程式！
我先来个：
            SiCl4+2H2+O2=SiO2+4HCl
            SiHCl3+H2+O2=SiO2+3HCl
            H2+SiCl4=SiHCl3+HCl
            3SiCl4+2H2+Si=4SiCl3
请高手继续补充……

Dreamer2012 发表于 2010-10-19 10:12:17

Si+HCl=SiHCl3+SiH2Cl2+SiCl4+HCl

Dreamer2012 发表于 2010-10-19 10:13:31

SiCl+H2O=SiO2+HCl
氯硅烷遇水反应

xilihuagong 发表于 2010-10-19 10:16:28

回复 2# Dreamer2012
    这个产物好复杂啊

xilihuagong 发表于 2010-10-19 10:17:55

回复 3# Dreamer2012
    应该三氯、四氯的都会发生水解反应吧
呵呵，注意SiCl是什么东西，容易引起误解

Dreamer2012 发表于 2010-10-19 11:13:56

回复 5# xilihuagong
    SiCl代表所有的氯硅烷，当然包括你所说的哪几种
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