xiaoxuewsw 发表于 2010-10-13 22:13:50

求单晶炉构造以及各部件对生长过程的影响相关方面的资料

求单晶炉构造以及各部件对生长过程的影响相关方面的资料-----


有那位对单晶炉研究的比较透彻，拿出来大家分享一下，多谢啦~

硅儿子 发表于 2010-10-21 04:34:46

炉体：
1、主炉室2、副炉室3、籽晶旋转及提升机构4、隔离阀5、副炉室开启升降机构6、主炉室升降机构7坩埚驱动装置
还有真空系统、充气系统以及电气部分
对拉单晶来说最重要的就是热场分布，加热器及加热功率，埚升、晶升、埚转、晶转等都是影响“二维平面成核，侧面横向生长”等条件。
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