xiaoxuewsw 发表于 2010-10-24 17:02:02

求单晶炉热场对单晶参数的影响

各位前辈，那位有单晶炉热场方面的资料分享一下，万分感谢

硅儿子 发表于 2010-10-25 17:54:27

告诉你个大概的热场分布吧
我这里说的是Cz法的炉子 国内这种炉子基本都是仿N年前美国的。
这种炉子的热场在静态时是沿着加热器的中心轴线测量发现加热器的中心温度最高，向上向下都是逐渐降低的，然后从轴线上某点沿着径向测量，发现温度是逐渐上升的，如果画下来看有点像抛物线。
动态热场太复杂了，对流因数太多了，就不一一说明了。
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