硅中人 发表于 2010-11-17 12:08:42

石墨变色原因

多晶硅生产150mm直径后，有一项报裂棒，按照正常程序停炉，出炉时多晶硅表面正常，裂棒项的石墨座呈彩色甚至墨兰色，未裂棒项石墨座颜色正常，检查电极未发现漏气漏水，分析多晶硅基硼电阻率、少子寿命、氧含量超过电子一级、基磷电子率达到了电子三级、碳含量达到太阳能一级水平。但石墨座为什么颜色异常，漏水？漏油？三氯氢硅或氢气含氧高？石墨质量？石墨清洗和煅烧不到位？······请各位行家根据自己运行经验和理论知识展开讨论，谢谢各位参与！
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