wu11xin 发表于 2010-11-24 19:16:50

关于硅烷提纯

硅烷中含有少量氯化氢气体,用哪种方法将其提纯最好?

like9175 发表于 2010-11-24 21:47:08

尾气中排了吧,一般精馏不会设计HCL回收的吧,你们用的硅烷是不是从尾气回收回来的?他们解析的不好?

wu11xin 发表于 2010-11-25 09:52:24

哎我是说99%的纯硅烷混有极少氯化氢气体,要提纯到6N以上用以制多晶硅
要不然提纯硅烷干什么啊?

wu11xin 发表于 2010-11-25 09:53:01

哎我是说99%的纯硅烷混有极少氯化氢气体,要提纯到6N以上用以制多晶硅
要不然提纯硅烷干什么啊?

hht666 发表于 2010-11-25 10:00:45

用活性炭最好啊,

rhk2009 发表于 2010-11-25 10:16:26

应该用活性碳吸附

010211 发表于 2010-11-25 12:28:44

这个问题应该请教已经开了车的几个厂家的技术或管理人才啊,相信大化工里有他们在,请他们主动出击,说说啊。。。

zhengrd 发表于 2010-11-25 15:50:47

也可以用分子筛吸附吧,SIH4没有极性,HCL是极性分子
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