phoenix888 发表于 2010-11-26 16:17:04

颗粒状多晶硅工艺的发展与应用

如题：颗粒状多晶硅的工艺的发展与应用，欢迎大家谈谈自己的看法
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ringlxb 发表于 2010-11-26 16:28:34

目前只能用硅烷法做，而流化床法作颗粒多晶硅肯定要比西门子发具有优势（耗能低）。日本德山化工作的颗粒多晶硅用的是另一种工艺。
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