多晶硅还原中三氯氢硅几种汽化方式
．1鼓泡式汽化鼓泡式汽化方式是利用氢气在三氯氢硅液相中鼓泡。
同时外部热源供热．使三氯氢硅汽化，通过氢气的鼓泡加速三氧氢硅的蒸发。得到氢气和三氯氢硅的混合气
2．2列管式汽化
列管式汽化方式是将液相三氧氢硅在外部热源加热下
直接汽化，控制汽化后饱和气体的温度，以一定的流量与氢气充分混合。形成氢气与三氯氢硅混合气。
Uebi|；管式汽化是将三氯氢硅液体与氢气通过流量调
节控制后。进人一种混合器，然后进入Liebig管。利用还原
反应产生的尾气或热脱盐水提供热量使三氯氢硅液体汽气。
一般是采用第二种方法吧，如果是第一种的话氢气与三氯氢硅配比应该如何控制呢？
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