wrn1115 发表于 2010-11-23 16:49:29

回收氢

回收氢中含有甲烷,着怎么解释啊?

wei8jun 发表于 2010-11-23 16:55:28

因为回收系统是密闭系统,而还原炉在置换的时候肯定有死角,空气中的微量甲烷就慢慢的富集起来,时间长了,甲烷量就高了,还有种说法是,还原炉内也可能有甲烷生成;只能通过排放氢气来置换,把甲烷带出去,但是效果好像不是很好!

wrn1115 发表于 2010-11-23 17:00:15

回复 2# wei8jun
    谢谢,那在回收车间的系统内有没有可能反应产生甲烷呢?

wei8jun 发表于 2010-11-23 19:04:25

这个应该不会,个人观点,回收系统温度低,应该不会有甲烷产生!

dajiahigh 发表于 2010-11-23 19:09:38

还原炉内的甲烷是怎么来的?
跟石墨底座有关系吗?

硅中人 发表于 2010-11-24 16:37:17

应该是三氯氢硅内的甲基氯硅烷在炉内分解产生的,如何改进提纯系统去除三氯氢硅中的甲基氯硅烷是我们要讨论的关键。

rhk2009 发表于 2010-11-25 14:10:58

应该是氯硅烷里甲基分解出来的,这个解决办法只能在TCS精馏提纯中解决,提高三氯氢硅纯度

wrn1115 发表于 2010-11-25 14:44:51

活性炭在加热反吹是可能产生吗?

wei8jun 发表于 2010-11-29 18:15:36

6楼回答得也相当有道理啊

254696009 发表于 2010-12-1 03:17:20

活性炭跟H2产生CH4的话这日子不过了。
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