wangwei-spy 发表于 2010-11-2 13:34:59

氮气对多晶硅生长的影响

各位：
   如果氢气中含有氮气或置换反应器时残留氮气是否对多晶硅生长有影响？

lijialinn88 发表于 2010-11-2 21:43:32

如果氢气中有氮气如果还原路温度较高的话，可能会生成Si3N4，产生杂质，降低多晶硅的纯度，同时干法回收阶段也不能出去氢气中的氮气，那将很麻烦，只能放空放掉

mao12345 发表于 2010-11-3 01:51:19

会产生氮化，在多晶硅棒上会有一层彩色夹层。

wangwei-spy 发表于 2010-11-3 08:36:11

如果产生氮化硅，会优先在氮化硅上沉积么？

chkeji 发表于 2010-11-23 16:17:25

氮气不是保护气吗？

ruoshui3000 发表于 2010-11-30 20:59:38

保护气也要看什么条件的，条件够了一样会反映。
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