peterwang2010 发表于 2010-7-14 15:04:01

晶片蚀刻厂HF回收问题

§ 目前蝕刻機主要分別有兩種型式,分別dipping , spray,這兩種蝕刻機都可以加裝回收HF過濾系統.
§系統大致上流程是這樣,蝕刻廢酸排放到,廢酸暫存槽,經由pump送入過濾器系統,經過濾之後,收集到乾淨暫存槽,再經由pump打入到混酸槽,調回原來HF濃度,再分別打入蝕刻槽重複始用 资料：13918693736

鹧鸪汀 发表于 2010-12-8 22:21:20

提供一下基础资料好吗？zgh09@126.con
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