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硅业 发表于 2009-6-11 18:19:09

三氯氢硅合成炉开车

三氯氢硅合成炉用氮气升温到规定值后。要把氮气关了。开HCL进合成炉，但是N2和HCL的压力不同，怎么把他切换过来呢

zjiris 发表于 2009-6-11 19:10:12

直接切换就可以了

aojian 发表于 2009-6-11 19:49:17

虽然N2和HCL的压力不同，但是你在HCL通入合成炉之前都是先对HCL缓冲罐进行充压至工艺指标，再进行N2和HCL的切换，所以只要通入合成炉是HCL压力达到工艺标准，就可以直接切换的！

wqing123456 发表于 2009-6-11 20:30:36

你们用的是什么加热？
直接用HCL替代N2就行了撒

wqing123456 发表于 2009-6-11 20:30:45

你们用的是什么加热？
直接用HCL替代N2就行了撒

kingstome 发表于 2009-7-16 16:31:12

氮气是要被HCl排出至废气吸收池的。系统的终点肯定有一个是废气吸收，所以不用担心压差的问题。

zw1902 发表于 2009-7-16 22:34:03

升温直接用电感加热器就可以了吧！

幸运的鲁克 发表于 2009-7-17 07:06:23

6楼的说法是对的

炸你象猪头 发表于 2009-7-17 14:18:23

直接先关氮气，让后开氯化氢，因为你系统的压力始终是一样的，所以氮气和氯化氢切换对系统影响不是很大，主要是别让氮气串回氯化氢管道，另外切换时注意流量的变化。

wuhao3690 发表于 2009-7-19 14:45:53

应该直接通HCl就行了

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