谁的过错 发表于 2010-6-6 14:54:12

三氯氢硅合成中应该注意哪些问题？？？

在三氯氢硅合成炉的开车过程中，往往会由于对硅粉、HCL、温度的控制操作不当，而引起开车失败；在这开车的过程应该注意哪些问题呢？？

sc006 发表于 2010-6-6 20:19:07

不是搞这个的，不过按照设计温度，操作规程做应该问题不大吧

谭寅 发表于 2010-6-7 10:28:09

三氯氢硅开车首先看流化床的温度是否达到要求，HCL纯度还有含水量，硅粉的粒度是否合适，不同的床子硅粉的目数不同，刚开始通HCL的时候床子温度很容易掉下来，要注意，等硅粉和HCL反应了，温度见长就可以了，还有流化床的床层控制，

ksme200811 发表于 2010-6-7 16:25:42

想问个问题,三氯氢硅合成炉,通HCL之后,是上面的温度高还是底部的温度高?

lkjh789 发表于 2010-6-8 17:52:08

当然是下面的高啊。不过要是控制好的话温差也不是很大，还得看如何控制了，呵呵

liu411961867 发表于 2010-6-8 18:49:23

为什么是下面的温度高呢？

陈红锦 发表于 2010-12-10 18:30:56

从哪里通氯化氢气体，下面？

yuehan 发表于 2010-12-10 20:48:33

流化床下部是浓相段，反应主要在下部发生，所以下部的温度高

洛水长流 发表于 2010-12-12 11:18:16

硅粉和氯化氢得循序渐进的给，外壁温度不要太高，温度容易飞升，见长之后多进气量，还要看着温度，通氯化氢得时候会有两个结果，反应更剧烈说明热量没有被带走，温度下降时及时减小气量防熄火。具体情况QQ339565429

whitehong 发表于 2010-12-13 15:33:38

谢谢各位，长知识啦
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