多晶硅的生长速度
我们大家来探讨一下多晶硅每小时生长多少?你是国电的,速度在10左右吧 改良西门子法大概一小时一毫米 什么年代了,现在已经有差不多25了 什么年代了,现在已经有差不多25了
surely 发表于 2010-12-10 15:26
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是25kg/h?你们是多少对棒的炉子?我们12对棒的炉子生长速度平均才15kg左右 回复 5# tdd
12对的夜早就超过20了,24的就更不要说了,呵呵 12对的超过20kg/h其实很容易,但是从能耗上面考虑,沉积时间并不是越长越好的。
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