sunchao428 发表于 2010-12-14 09:48:29

常压沸腾床合成工艺生产三氯氢硅转化率多少

请教各位，用常压沸腾床合成工艺生产三氯氢硅，硅粉转化率、HCl转化率、三氯氢硅选择率、三氯氢硅收率大概是多少？
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