demonfox 发表于 2010-12-21 22:18:07

关于使用吸附法除三氯氢硅中的B、P的问题

现在三氯氢硅除B、P的方法中，吸附法好像多为液相吸附。不知道有没有高人知道这是为什么，为什么不采用气相吸附呢？
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