gaohan 发表于 2010-12-30 15:20:44

多晶硅行业什么地方能用到质量流量计？

各位老大，。请问多晶硅生产过程中什么地方能够用到质量流量计？用来测量什么介质？一般口径都是多大的？小弟对这个行业不懂，如能赐教，不盛感激，谢谢！

zhangweicheng 发表于 2010-12-31 09:47:17

呵呵，每个工序都可以用得到，因为质量流量计价格高，所以只用在关键的计量要求方面。
测量介质有氢气、氯硅烷或者两种物质的混合物。具体口径不能一概而论，要看工艺的要求了。

king70868 发表于 2010-12-31 11:45:53

楼主，在多晶硅和有机硅生产中，很多介质质量精确测量都用到质量流量计，但是由于质量流量计的价格过高使其使用范围大幅减少。一般来说：进料系统氯甲烷（液相）、出料系统氯硅烷等应用较多一些，因为要计算物料消耗等问题。

大海深处 发表于 2010-12-31 11:48:57

在HCL合成中，氯气计量一般也是采用质量流量计。

450064755 发表于 2011-1-2 17:13:31

氢气和三氯氢硅管线上要用

li19880620 发表于 2011-1-3 21:26:36

在   h2和sihcl3管线上都用啊
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