zax1102 发表于 2010-5-25 16:20:19

硅烷中的硼、磷杂质怎么去除

敢问大家，我们一般了解的都是多晶硅中的硼、磷是怎么去除的，那么在硅烷气体中有没有方法去除硼、磷杂质呢？谢谢

maxwell_112 发表于 2010-5-25 16:32:24

不知道你问的是除去什么相态中的杂质。
现阶段多晶硅中的B、P杂质是不能除去的；硅烷气体中的杂质可以通过吸附的方法除去，如活性炭等。
液态氯硅烷通过加压精馏可以除去B、P杂质……

zax1102 发表于 2010-5-25 16:45:53

硅烷中的P、B应该都是以BH3和PH3的形式存在的吧！用吸附的方法可以去除ma?精馏是个怎么原理啊

yubufan 发表于 2010-6-1 22:17:40

楼上的，应该多以BCl3和PCL3的形式存在吧，利用沸点差来去除，但并不能去除其他B，P杂质，需要用湿氮法来去除它

rqm200507 发表于 2010-12-31 13:03:04

硅烷中的硼烷实际上为**即B2H6，磷烷为磷化氢即PH3,去除的方法很多，包括吸附法，冷冻吸附、精馏、络合等等，都可以除去。
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