人有傲气 发表于 2010-12-29 21:07:13

四氯化硅氢化讨论

在热氢化炉中，如果反应温度太高，超过1300度，对四氯化硅的转化率有影响吗？

yc04023 发表于 2010-12-30 09:22:12

还原反应器内采用石墨棒作为加热材料，以电加热的方式将反应器内温度维持在1250℃左右，反应器内的压力在0.25～0.40MPa的范围内。根据实际情况，有时在900~1400℃

luhao5183_cn 发表于 2011-1-4 10:58:32

我们的工艺在450~500摄氏度，0.15兆帕表压。

luhao5183_cn 发表于 2011-1-4 10:59:25

2楼文不对题，cvd不是楼主的问题

dou_ni_wan 发表于 2011-1-4 16:45:39

请问热氢化炉，温度这么高，对阀门有些什么要求？通常是用哪个品牌的阀门？谢谢！
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