rainwind 发表于 2011-1-6 08:59:44

多晶硅工艺方案

目前国内运行比较好的多晶硅生产工艺方案都有哪些，大家能说都有哪些，我知道的主要是硅烷法的

zhangweicheng 发表于 2011-1-6 10:10:23

目前国内运行比较好的多晶硅生产工艺方案都有哪些，大家能说都有哪些，我知道的主要是硅烷法的
rainwind 发表于 2011-1-6 08:59

                              
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    硅烷法我还真的不知道哪家运行的比较好，据了解国内只有浙江中宁、河北六九，焦作有家叫谙拓的也是硅烷工艺，不知道到底进行到什么程度了。
目前看来，运行比较好的主流工艺仍然是改良西门子工艺。

rainwind 发表于 2011-1-6 08:59:00

改良西门子工艺？能介绍下么？我还是初学者！

凌晨零点2010 发表于 2011-1-6 10:36:16

我以为目前大家都用西门子改良法啊.大哥,介绍下你们的硅烷法啊
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