123123l 发表于 2009-3-11 11:13:43

物理法多晶硅对金属硅原料的要求

目前好像对物理法多晶硅的话题多起来了！！
大家都是说工艺和后期提 纯的相关的事！！
我想了解一下物理法多晶硅对金属硅原料的要求，一般用什么含量的，细度多少，酸洗综合成本及酸洗效果好

sararara0002 发表于 2009-3-11 11:43:50

就是一般的工业硅，纯度为2个9，细度为10mm以下

xuelangpk 发表于 2009-3-11 16:21:06

纯度在95%-99%

半江风雨 发表于 2009-3-16 16:28:07

听说国内有的物理法厂家使用的金属硅原料要求较高，从3N做起
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enerblue 发表于 2009-4-1 13:00:12

国内某科研机构使用１１０１　制成６ｎ
我有见过．．．

jianfen8108 发表于 2009-4-2 09:18:05

纯度越高越好，最好是1101的，最主要的还是B、P含量不能太高，对后续处理难度有很大影响。

binglang_28 发表于 2009-4-2 11:58:37

金属硅粉对P、B要求较高，这两种元素后续工序除杂效果有限。对于金属元素可以适当放宽要求，酸洗、定向凝固等工艺都有较好的除杂效果。若是金属元素含量较高，则硅粉的粒度要选择细一些。上万ppm的金属元素酸洗之后也能控制在200ppm以内或着更低。

南希 发表于 2009-4-2 21:55:37

3个9差不多吧？

lanzi1333 发表于 2009-4-8 10:25:23

据我所知，目前国内外采用物理法生产多晶硅的厂家基本都有自己的金属硅厂，为了降低成本都对金属硅的要求越高越好，一般都采用2202以上，同时由于P&B在后续工序很难处理，对P&B都控制非常严格，最好这两个元素没有
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。
酸洗效果都是非常好，目前有人采用酸洗将金属元素控制在100ppm以内，同时成本处在较低水平。

XNHHSDGM 发表于 2009-4-8 10:43:53

3个9的工业硅价格比较高，关键还是在工艺改进，目前物理法不是很成熟。但发展潜力不错！
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