攸游 发表于 2011-1-8 14:45:32

单晶硅生产工艺中，对氩气的要求？

大家好！谁能告诉我单晶硅生产工艺中，对氩气保护气的质量要求？主要是氩气中氧气和氮气杂质的含量是多少？还有就是对这些杂质的最大容忍度是多少？谢谢！！

攸游 发表于 2011-1-9 16:54:40

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