梦凡人 发表于 2010-11-18 20:14:36

硅棒发脆

请问各位高人硅棒发脆是什么原因

硅中人 发表于 2010-11-19 14:35:46

生长速度太快造成，降低硅棒电流调整炉内热场分布或调整供料配比或调整炉内气场压力或改变喷咀结构应都能解决问题

450064755 发表于 2011-1-2 20:14:44

硅棒的沉积不规则，调整哈气场看哈喃，以及稳定温度

luoye888 发表于 2011-1-8 13:55:33

硅棒脆的问题，不是喷嘴或生长过快，从材料角度来讲，在停炉是，冷却过快，造成热应力未来得及释放，应力集中造成的。

化工人士 发表于 2011-1-16 01:07:38

还是配比的问题，氢气大了，退火
页: [1]
查看完整版本: 硅棒发脆